Semi-conducteurs

Titre Fiche Technique
Recherche de contaminants de surface sur wafer Si SIMS
Caractérisation d'une structure Si/Nb après recuit thermique SIMS
Caractérisation de diélectriques destinés aux interconnections avancées SIMS
Caractérisation d'un dépôt SiON sur un substrat silicium XPS
Dépôt de nickel pour la soudure de SC AES

mis à jour le 29/09/2013