Elémentaire | Quanti | Chimique | Sensibilité | Profondeur analysée | Micro- analyse | Profil | Isolants | |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|
XPS | oui | oui | oui | 0,1 % at. | 10 nm | 10 µm | oui![]() | oui |
AES | oui | oui | oui | 0,1 % at. | 10 nm | 0,1 µm | oui ![]() | non |
DSIMS | oui | difficile | non | ppm-ppb | - | 0,3 µm | oui ![]() | oui |
SSIMS | oui | difficile | oui moléculaire | femtomole | < 1 nm | 0,3 µm | - | oui |
GD-OES | oui | oui | non | ppm | - | non | oui ![]() | oui (RF) |
EDS (MEB) | oui | oui | non | 0,1 % at. | 1 µm | 1 µm | non | oui |
FTIR | non | non | oui moléculaire | 1000 ppm | 1 µm | 3 µm | non | oui |